Российские научно-исследовательские институты достигли важного прорыва в области микроэлектроники. Разработаны кластерные системы для плазмохимического осаждения и травления, необходимые для производства интегральных микросхем по 65-нм техпроцессу. Это значительный шаг в сторону технологической независимости страны. В статье вы узнаете, какие возможности открывает эта разработка, как она соотносится с мировыми стандартами и какие вызовы стоят перед отечественной микроэлектроникой.
Ключевые достижения российских институтов
Разработка кластерных систем
НИИМЭ и НИИТМ, входящие в группу компаний «Элемент», создали оборудование для работы с кремниевыми пластинами диаметром 200 и 300 мм. Это соответствует требованиям современных производств и позволяет выпускать микросхемы по 65-нм техпроцессу.
Международное признание
Российские институты вошли в число пяти мировых организаций, обладающих компетенциями в создании подобных систем. Это подтверждает высокий уровень отечественных разработок.
Преимущества новой технологии
Модульная архитектура
Платформа позволяет внедрять новые процессы на существующих производственных линиях. Это делает её универсальной и готовой к переходу на более продвинутые технологические нормы.
Совместимость с современными стандартами
Оборудование совместимо как с действующими, так и с будущими производствами, что обеспечивает его долгосрочную актуальность.
Вызовы и перспективы
Финансирование и отставание
Несмотря на успехи, отставание в реализации НИОКР достигает более 60 проектов из-за недофинансирования. В 2024 году вместо запланированных 43,3 млрд рублей было выделено лишь 23,7 млрд.
Мировые стандарты
Мировые лидеры полупроводниковой индустрии освоили 65-нм техпроцесс ещё в 2004 году. Однако для производства простых контроллеров и датчиков он используется до сих пор, что делает разработку актуальной.
Заключение
Создание отечественных кластерных систем для плазмохимического осаждения и травления — это важный шаг к технологической независимости России. Однако для дальнейшего развития микроэлектроники необходимо решить вопросы финансирования и сократить отставание от мировых лидеров.
