Российские 193-нм литографы: классика в эпоху инноваций
В ближайшие годы Россия планирует выйти на новый уровень в производстве микрочипов благодаря разработке собственных 193-нм литографических сканеров. Эти установки, основанные на проверенных временем технологиях,…